姜歌东 陶 涛 梅雪松 袁渊浩
精密工作台被广泛地应用于光刻机、扫描显微镜、微操作机械手等高精密设备中,是保证高精密设备运动精度的关键部件,如何实现精密工作台的多自由度运动和定位精度测量,是长期以来人们一直关心的问题,目前,常用的测量方法是激光法。
西安交通大学学报2009年5期
1《工程建设与设计》2024年6期
2《安徽建筑》2024年1期
3《人生与伴侣·共同关注》2024年2期
4《花卉》2024年6期
5《天津教育》2024年3期
6《现代经济信息》2024年5期
7《世界热带农业信息》2024年3期
8《家庭医学》2024年2期
9《学周刊》2024年10期
10《中国中医药现代远程教育》2024年8期