OLED用含钼和/或铝金属膜的蚀刻液及其制备方法

2014-01-30 22:20
中国钼业 2014年2期
关键词:甜菜碱润湿性两性

专利申请号:CN201110316299.8

公开号:CN102392248A

申请日:2011.10.18

公开日:2012.03.28

申请人:绵阳艾萨斯电子材料有限公司

本发明公开了一种OLED用含钼和/或铝金属膜的蚀刻液及其制备方法。该蚀刻液,包括硝酸水溶液、磷酸水溶液、甜菜碱两性表面活性剂和水。其中,所述硝酸水溶液占所述蚀刻液总重的1% ~10%,优选2% ~8%;所述磷酸水溶液占所述蚀刻液总重的40% ~80%,优选50% ~70%;所述甜菜碱两性表面活性剂占所述蚀刻液总重的0.1% ~5%,优选0.5% ~2%;余量为所述水。该蚀刻液能有效改善蚀刻液和金属膜之间固液界面张力,提高金属表面的润湿性,不但稳定了蚀刻速度,提高蚀刻精度,最重要的是,能够有效的控制锥角在20°~70°,且没有蚀刻残渣,是一种高效高精度的蚀刻液,具有重要的应用价值。

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