光栅刻划机刻划系统光机电集成优化方法研究

2014-12-30 08:20中远王俊杰竺长安齐向东
湖南大学学报·自然科学版 2014年3期
关键词:光栅俊杰中远

中远 王俊杰 竺长安 齐向东

光栅制造技术作为当今最为精密的技术之一,使得光栅刻划机被称为“精密机械之王”。endprint

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