创新安全技术 “护航”安全生产

三星电子（苏州）半导体有限公司 周丰 卢添钰 秦卫国

■概述

“发展决不能以牺牲安全为代价。”2016年12月，《中共中央国务院关于推进安全生产领域改革发展的意见》中强调了这一“不可逾越的红线”，并要求以坚持改革创新破解安全生产难题，不断推进科技创新，建立安全科技支撑体系，也提出了“开展事故预防理论研究和关键技术装备研发，加快成果转化和推广应用，推动工业机器人、智能装备在危险工序和环节广泛应用，提升现代信息技术与安全生产融合度”等具体要求。针对党中央提出的安全生产发展领域的意见，三星半导体近年来逐渐加大对安全技术创新的资金投入，积极推进和落实安全技术创新与应用，提高企业本质安全水平。公司近两年先后投入两千余万元用于实现设备自动化、本质安全技术、安全检测监控技术等，在促进安全生产方面取得了显著效果。近两年公司安全技术的创新应用优秀事例如下：

■化学品自动化导入与添加技术

公司在生产半导体芯片工艺过程中需要使用氢氧化钠、亚硫酸氢钠等多种会对人体产生伤害的有毒有害化学品。传统化学品添加基本通过人工手动添加的方式，但由于化学品添加操作过于频繁复杂，外加人的失误，有害化学品泄露的风险较大，极易造成人身伤害事故。此外化学品添加中飞溅出的化学品残留物质容易对设备造成腐蚀，产生安全隐患点。针对该风险项目，公司先后投入1500余万元用于化学品自动添加技术研发，分别对化学品清洗作业、清洗剂添加、动力水处理药品添加进行自动化改善。将手动化学品添加作业转变为自动化添加作业，作业人员仅需将需要清洗的材料放置在设备入口，设备即自动将材料推入自动化设备，实施自动化学品添加与清洗作业，作业人员不接触化学品，确保人员100%处于安全状态。对清洗剂进行了集中加药改造，消除员工分散加药的风险。同时我们还对动力水处理设置化学品分散添加进行了集中供药装置改善，在集中供药管道位置都设置安装了双重化管道，避免供应中的药品管道泄露到外部环境中，而且对有可能发生药品飞散的设备位置安装保护罩（防飞散防护罩），杜绝发生飞散，采用自动化加药系统，既做到了人与有害物质分离，减少了职业危害，又降低了劳动强度，提高了工作效率。相关改善如下图所示：

化学药品自动供给系统

化学药品自动化导入口

■安全检测监控技术

安全检测监控是安全管理工作的“眼睛和耳朵”，借助于仪器、仪表、传感器等设备能够迅速准确地了解生产系统及作业环境中的危险因素，及时采取控制措施来预防事故。为了对风险较大区域实施重点监管，公司累计在各重点管控场所共安装了近两百部视频监控设备，做到对风险较大区域进行24小时全方位可视化监控，并在重点区域设置呼叫系统，发生异常时可直接在中央控制室对其区域进行警示呼叫，确保重点区域安全管控。此外，为了进一步加强风险监控，公司在危险化学药品添加区域增加完善了泄漏报警装置33个,共同沟、储水箱等各类密闭空间增加低氧报警装置、温度及湿度参数检测仪器70个，对设备的湿度、温度等安全参数进行实时监控，以保证出现异常情况时，能够提前发现并及时进行改善，将事故隐患消灭在萌芽阶段。相关改善如下图所示：

重点区域监控

设备安全运行风险监控

■废料自动回收技术

手动收集废料

废料自动化收集

生产线很多设备会产生废料，而废料的收集过程往往也伴随着事故风险。对于卷盘废料的回收改进，公司投入38万元，对生产线内存表面贴装线设备增加了128个能够自动对废料带进行回收的装置，改变了原来靠操作人员手工往下拽的落后作业方式，避免出现原先操作人员手动拖拽盘卷带而被卷带锋利的带边划破手指的事故风险。通过实施该技术，进一步提高了产线自动化程度，减少劳动作业强度和伤害事故的发生。（见左图）

■结束语

发展是第一要务，安全是第一保障。安全生产离不开安全技术的创新和应用，通过不断地研发新的安全技术，逐渐实现设备设施的本质安全化，能有效降低事故发生风险，提高企业安全管理水平。创新安全技术源于安全生产实践，从实践中来，到实践中去，针对当今新形势下安全生产工作中出现的新情况、新问题，及时转变思想观念，充分运用现代化的新技术、新手段，努力在安全生产工作中上更上一层楼,使安全生产工作更加科学化、规范化、严格化，做到超前防范并防范于未然。三星电子（苏州）半导体有限公司将一如既往，不断创新和应用新的安全技术，把安全生产纳入企业发展改革的总体布局，使安全科技创新工作融入企业的整体技术创新工作之中，实现公司安全生产形势长期稳定、健康有序的发展。