接触式光刻机汞灯电源功率大幅波动故障处理

2020-07-19 05:21申承志张海明
设备管理与维修 2020年13期
关键词:滤光片电位器波动

申承志,张海明

(中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄 050051)

1 故障现象

某台接触式光刻机,汞灯电源带有双通道恒光强功能。由于种种原因,设备使用者提出设备改造要求,将光刻机的500 W汞氙灯改成350 W 汞灯。设备厂家对该设备进行改造后,曝光时通道1 光强显示为0,通道2 正常。由于汞灯电源参数可以设置,为此按照汞灯电源说明书,修改通道1 光强显示值。修改后出现通道1 恒光强模式电源功率大幅度波动,光的亮度忽明忽暗的情况。

2 汞灯电源工作原理

汞灯电源有触发电路,控制电路,光强输入处理电路与安全保护电路等。该汞灯电源有恒功率模式和恒光强模式。文献[2]给出了该汞灯电源主电路原理图和汞灯光谱,阐述其原理和一些常见故障的处理方法。

汞灯发出的光包含多种频率。高压汞灯通常不只一个光谱峰值,生产厂家一般都会给出汞灯在某一波长峰值的辐射强度Ie。从汞灯光谱图中可以看出,320 nm 波长的光强比365 nm 波长的光强弱很多,同时在恒功率模式下,汞灯光强会随着使用时间变长而减弱。

3 故障分析

汞氙灯的光谱与汞灯的光谱有区别。汞氙灯是一种气体放电灯,能辐射出200~300 nm 远紫外谱线,而且发光稳定、使用寿命长,是比较理想的紫外光源。

汞灯电源在恒功率模式下,通道1 的光强读数总是大幅度波动,数值在0~4.5 跳跃式波动,如图1 所示。光强传感器里有2 个感光部件(图2),还有黑色(或墨绿色)和银白色滤光片。

在汞灯亮,快门打开情况下,使用带示波器功能的万用表测量光传感器的输出,输出电压如图3 所示。光强传感器通道2 的输出电压是406 mV,输出线平稳,光强传感器通道1 的输出电压平均值是51 mV,波动幅度大。汞灯电源后部一块小电路板上有2 个电位器。在光强传感器感光情况下调节其中一个电位器,可以改变S1OK 的值。当这个参数达到100%时,汞灯电源就会出现“光强超范围”报错信息。该电位器对光强传感器的输入值起比例系数作用。调整通道1 对应的电位器,但是没有解决问题。

对光强传感器接头里的对应光强通道1 和通道2 的两根导线交换位置,在恒功率曝光的模式下,汞灯电源光强显示值波动仍然在通道1 上。因此判断,汞灯电源存在故障。通过分析认为汞灯电源光强输入小电路板可能有问题。但是,根据汞灯电源说明书的说明复位了通道1 的参数以后,在恒光强模式下通道1 光强显示为0,也不波动。因此推断汞灯电源里的小电路板没有问题,但是汞灯电源的参数设置不合适造成了通道1 光强读数跳跃式波动问题。

图1 光强跳跃式波动

图2 光强传感器探头

图3 快门打开时光强传感器输出

汞灯功率265 W 时,光强传感器的输出电压见表1,可见曝光快门关闭以后,光强传感器仍有输出。光强输入弱时汞灯电源光强显示值为0。光强显示值公式:y=f(x)-b,x>c;y=0,x≤c,其中,f(x)是以x 为变量的函数,x 为光强传感器输出(mV),y 为光强显示值(mW/cm2)。

去掉通道1 光强传感器上的滤光片,在通道1 恒光强模式下测试,有光强超范围报警。此时通道1 光强传感器输出见表1。当汞灯在最大允许功率时,对应通道的参数S1OK 设为95%。这个信号与(汞灯)寿命电路关系密切。因此将350 W 汞灯功率设到最大功率430 W,调整通道1 参数S1OK 为95%。这样光强超范围报警就消失了。调好以后,使用者对设备进行工艺验证,设备工作正常,满足工艺要求。

表1 光强传感器输出电压

4 结语

对汞灯电源参数设置不当,银白色滤光片的过滤作用太强,导致在恒光强模式下汞灯电源功率大幅波动故障。解决办法:去掉通道1 滤光片,调整汞灯电源上的通道1 对应电位器,或更换与汞灯匹配的滤光片。

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