有研集团研制的国内单枪最大功率电子束熔炼炉投产

11月8日,随着有研集团所属有研工研院设计制造的GREB2800 大型电子束熔炼炉在丽水成功“点火开炉”,国内第一个电子级超大规模集成电路制造用超高纯钽材料产业基地正式投产。

全球应用于高端芯片制造用超高纯钽材技术被美国和日本的两家公司垄断,我国完全依赖进口。国产超高纯钽材料产业基地的建成,填补了该领域的空白,将结束我国长期依赖进口的局面。

大功率电子束熔炼炉是超高纯钽材料制备的关键核心装备之一,也是我国的重大短板装备之一。有研工研院针对电子级超高纯钽电子束熔炼装备开展技术攻关,自主研发出单枪功率达到800 kW 的大功率电子束熔炼炉,同时也是目前国内单枪功率最大的电子束熔炼炉,设备水平国内领先、国际先进。该设备具有完整的自主知识产权,实现了我国超高纯钽材料制备用大功率电子束熔炼炉的完全国产化。