2023 年,中国电科实现国产离子注入机28 纳米工艺制程全覆盖, 有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能,这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中,离子注入机就是執行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
军工文化2024年1期
1《工程建设与设计》2024年6期
2《安徽建筑》2024年1期
3《人生与伴侣·共同关注》2024年2期
4《花卉》2024年6期
5《天津教育》2024年3期
6《现代经济信息》2024年5期
7《世界热带农业信息》2024年3期
8《家庭医学》2024年2期
9《学周刊》2024年10期
10《中国中医药现代远程教育》2024年8期