一种红外吸收结构及其与红外传感器件的集成方法

申请号: 201710032686.6

【公开号】CN106698323A

【公开日】2017.05.24

【分类号】B81B7/02; B81C1/00; H01L31/0203; H01L31/09【申请日】2017.01.16

【申请人】北京芯创睿胜科技有限公司

【发明人】赵柱;毛海央

【摘 要】本发明涉及一种红外吸收结构及集成方法，尤其是一种基于烛灰纳米颗粒结构的红外吸收结构及其与红外传感器件的集成方法，属于红外传感探测的技术领域。红外吸收结构，包括衬底以及设置于衬底上的烛灰纳米颗粒结构层。本发明利用烛灰纳米颗粒结构层能实现对红外辐射的有效吸收，能在较宽的红外波段内具有较高的吸收效率，制备方法简单，兼容性以及可控性好，在与红外传感器裸芯片集成后，能提高红外探测的精度，集成方法简单，适用范围广，安全可靠。