论半导体高新科技工厂设备管道安装要点

李晓蒙 赵铮 陈凤

摘  要：工业创新和发展离不开对专业技术的深究，工业设备中的一个小小的零件都会影响生产制造。在工业领域中，为了防止与空气接触产生化学反应，管道通常被用于提供运输各种高易燃易爆物质，如果管道设计与安装出现问题，势必会影响工业生产，甚至造成安全事故。因此，在对工业管道进行安装前，必须先了解该行业的基础原理，诸如半导体材料在提炼过程中具有高温、切割、分离和抛光等工艺，会涉及易燃、剧毒、强腐蚀等气体，这些危化气体是制造精密半导体电子元器件、新能源光电产品必不可少的原料，为了确保管道中的材料在运输过程中对管道性能不会造成较大影响或使管道遭到破坏，以及在生产中发生气体泄漏，引发严重事故，在设备管道施工时，必须严格执行专项施工方案要求，以此确保顺利完成设备管道安装。

关键词：工程;设备管道;安装;技术

引言

在目前的世界范围中，半导体产业已经成为最支柱、最重要的产业之一，通常认为集成电路制造是整个半导体工业发展的核心，其发展在世界的各个不同产业范畴中都设计并得到应用，其对各个领域的技术的前进和整个世界的经济发展有推动作用，无论发达国家还是发展中国家都把半导体工业看成战略性支柱产业，其半导体制造科技水平的进步以及产业规模的发展程度已成为一个用于衡量国家科学技术、经济发展程度和国防软硬件实力的重要指标。在这样的大环境下，各个政府都投入大量的财力和人力，以求促进自己国家的半导体产业良性发展。我国在这方面也没有逆世界潮流，同样颁布了大量的优惠政策，集中有限的财力，向半导体产业倾斜，并尽力让传统产业在应用半导体技术为基础的电子信息技术上不断改造，不断发展，最终促使国民经济能够更好的发展下去。在半导体产业中的半导体集成电路制造工厂的非常重要的基础，它通过各种先进的半导体制造设备生产着各种集成电路芯片，这些芯片对国家经济的发展，对人民生活水平的进步，有着重要的作用，所以全力的保证半导体制造设备的正常生产和运营是一件有意义的事情。

1螺柱焊接质量监测系统应实现以下功能

监测系统实现的功能较多，重点突出以下六大功能的实现。功能一：正确识别各车型，将车型在显示屏进行目视化展示;功能二：系统对出现焊接质量不合格的螺柱进行目视化，不但要显示螺柱型号，还需要显示螺柱编号及在车身中的具体位置;功能三：采用人机界面对相应的车型、螺柱信息和位置进行提示;功能四：可以对螺柱焊接质量不合格信息进行统计分析查询;功能五：对焊接异常的报警螺柱进行人工复检，如确认存在质量缺陷将重新进行焊接。

2半导体高新科技工厂设备管道安装要点

2.1状态维护的工作流程

状态维护对于有一些设备，或者是某些设备的部件，这种设备（部件）非常的关键，一旦其运行状态发生问题，生产将无法继续，这些设备（部件）是无法替代的，故要求这种设备（部件）尽可能的减少维护次数，只在需要维护时维护检修，故无法对其制定定期的维护检修计划，这时可以根据经常检查设备的运行状态，运行参数，进行判断，根据这些状态参数判断设备的性能趋势，来决定是否需要进行停机维护检修。

2.2管道安装工艺

半导体工厂设备管道安装会受到管道材料配方、生產现场条件等因素的影响，在安装时要符合生产标准，不同的安装工艺应达到不同的标准，并根据管道布置结构机理和输送介质，严格按照专项施工方案执行安装程序。1）管道预制与组装为了提高管道安装质量，应尽可能在车间分段预制管道。保证管道组装件的刚性达到标准要求，以免在管道分段组装时损害管道质量，产生永久变形。管道组件尺寸应在可控偏差范围内。同时，管道组装件要有活口预留，以便在管道组装时可对管段连接进行调整，并保证其运输和安装便利。对预制组装完成的管段应及时编号，并妥善保存。2）管道及其附件检查管道安装前，应对管道组成件、阀门等进行检验，包括管子及接头、异径管、三通、法兰、补偿器的质量检查，以及阀门的阀体、密封面的试验。阀门试验介质采用洁净水，壳体试验压力应在公称压力的1.5倍或以上，试验要保持壳体填料5min以上无渗漏，阀瓣密封面无渗漏即达到密封试验合格要求。3）管道加工（1）该道施工工序技术的关键点在于管口的加工，由于半导体工艺对作业环境要求较高，管道加工作业的环境要保持洁净。（2）弯管采用冷弯，不应采取热处理方式对弯后管道进行加工。通常情况下，弯管弯曲后应禁止回弯，其弯曲半径为管子4倍的公称直径，并要确保弯曲度公差值在规定范围内，一般在±0.5°以下。（3）管道切割要采用专用的不锈钢切割器，为了避免切屑进入管内，在切割时要缓慢进行，顺着介质下流的方向冲入高纯氮气。切割后进行断面处理，采用平口机除去毛刺。在处理的同时用高纯氮气吹扫，用无尘布沾异丙醇在切割和断面处理完成后擦拭干净管口，避免无尘布反复使用。

2.3车身下表面区域螺柱检测系统运转流程

车身下表面区域螺柱焊工位是由V01面夹具组和V02面夹具组在一个180度翻转的大型转鼓上，本工位只有一个“RFID读取命令”，位置在工位下面。当第一台车身进入地面PLC1螺柱焊工位后，PLC通过“RFID读取命令”载码体中的信息后将数据存储在PLC的DB数据块中，这个DB数据块是V02面夹具组单独使用，以下简称DB_V02。载码体数据成功读取车型后，工位转鼓进行180度旋转，这时V02面夹具组在工位上面，V01夹具组在工位下面，机器人进入V02面夹具组进行螺柱焊接并且将焊接质量不合格螺柱信息写入DB_V02数据块。

结语

综上所述，工业设备管道作为工业生产中经常用到的设备部件，对其安装必须遵守行业管道安装规范，对安装过程中的安全隐患要做到防患于未然，强化施工工艺，制定专项施工方案，这样才能达到质量标准要求。本文分别从半导体高新科技工厂设备与管道两个部分的安装工艺进行了详述，基于半导体工艺对作业环境和操作的高要求，总结出在管道施工时，应维护施工作业环境，加强对管道管材的管理，以及管道加工、焊接、管道与配件及设备连接安装等质量控制，严格按照施工方案进行设备管道安装，并以先进的技术和专业的态度对待管道安装，从而确保设备管道工程顺利完工，确保设备安全运行。

参考文献

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[2]曹民生，陈国强，马文生.管道设备安装的监理工作重点[J].建筑工人，2020，41（10）.